Tarafından Programlar opensecs.sf.net

FREESECS, SEMI SECS standartları için açık kaynak kodlu bir projedir. Yazılım GNU autotools / GCC ile derlenir ve Linux OS. FREESECS üzerinde çalışır HSMS-SS (SEMI E37.1), SECSII (SEMI E5), 300mm & Interface A (planlı) iç